本发明涉及一种基于离子束技术的电阻应变计制作方法，采用直流等离子体溅射技术和等离子刻蚀技术，在高温硅橡胶基片表面涂敷聚酰亚胺酸胶液，热固化形成聚酰亚胺柔性基底，然后剥离后固化得到所需应变特性要求的柔性基底膜，在柔性基底聚酰亚胺表面溅镀电阻合金膜，最后再通过光刻和刻蚀工艺制备成电阻应变计，具有工艺简单、成品率高、电阻合金膜成分可控、合金组分可按需求调配、图形分辨率高、所制材料性能优良等优点。