成果详情
MIP系列多功能离子镀膜技术与设备

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1.项目简介

MIP系列多功能离子镀膜技术与设备是当代最新表面处理方法之一。采用低电压、大电流真空电弧技术和中频磁控溅射技术相结合的方法(物理气相沉积PVD技术),直接将阴极材料(被蒸镀材料)蒸发并离化,形成高度电离的等离子体束,这些高能粒子在工件偏压的作用下,沉积在工件表面上,生成各种金属薄膜(如铜、铝、钛等)。当通入反应气体,如N2或C2H2时,可以生成各种氮化物或碳化物薄膜 (如TiN, (TiAl)N, CrN, ZrN或TiC, TiNxCy和类金刚石等),多层膜、复合膜、纳米硬质膜等、牢固地涂敷在工件表面上,可以使金属表面改性、提高零件的耐磨、耐腐蚀性能,改善表面的疲劳断裂性能。

我所研制的该项技术与设备达到国际先进水平,为国内领先水平。1991年即通过了院级鉴定,被国家科委列为93年度国家级科技重点推广项目,至今得到了更加广泛的应用,已售出的设备受到用户的好评,获得了很好的社会效益和经济效益。


2. 主要产品名称、型号

MIP系列多功能离子镀膜技术与设备,包括:

MIP-4 MIP -6 MIP-8 MIP-12 等多功能离子镀膜设备


  3. 功能特点

该项技术是实现材料表面改性和工具、磨具表面改性不可或缺的重要手段,先进加工制造技术的发展,特别是表面涂层技术的发展,已成为切削刀具的一种十分重要的关键技术,涂层刀具已经成为现代刀具的标志,尤其是随着复合薄膜、梯度薄膜、多层薄膜、纳米多层薄膜、纳米复合结构薄膜的出现,涂层技术已更广泛地应用于高速、高精及干式切削领域,并成为改善刀具性能的主要手段之一。

该项技术的主要特点是:

·高的沉积速率,低的沉积温度(100°-500°C)。

·高的电离度(75-95%),高的沉积能量(10-100eV)。

·高的空间利用率和高的生产效率。

·可控电弧斑点,涂层细腻。

·工作可靠,操作简单,工艺控制灵活,易于维修。

·膜层致密、均匀,与底材结合好。

·底材多样,涂层丰富,易实现难熔金属及其化合物的蒸镀。

4. 成果(专利、鉴定及奖项)

发明专利三项,实用新型专利四项

发明专利号:

  1. ZL99 1 21640.7

  2. ZL99 1 21641.5

  3. ZL00 09824.1

实用新型专利号:

1. ZL99 2 48217.8

2. ZL99 2 48218.6

3. ZL00 2 43253.6

4. ZL00 243391.5

1991年通过了院级鉴定,获1993年科技进步三等奖。获第二届中国科技精品博览会金奖。


5. 应用领域及产业化前景

PVD离子镀技术应用于航空、航天、现代机械加工、化工、轻工、日用五金等领域,涂层种类主要包括TiN;TiCN;TiALN;AlTiN;CrN;AlTiN + DLC;TiCN +DLC;刀具涂层;模具涂层;汽车部件涂层;医疗器械涂层;纺织部件无油耐磨涂层;装饰涂层等。

目前国内已经形成产业化应用,在深圳的离子镀装饰涂层产品,已成为国际品牌钟表公司涂层零件加工基地和手机零件加工基地。国内各大工具公司纷纷引入国外著名的涂层公司设备,如瑞士的balzersi公司、Sadvik公司、德国的comecon公司和PVT公司等,设立涂层生产服务中心。潜在的市场应用前景广阔。

6. 现有合作基础

已售出30余台设备。