成果详情
由于供油流量恒定,静压导轨在受到外载荷的时候,油膜厚度必然会减小,为了使工作台的油膜厚度稳定在初始设定值, 在西门子840DSL数控系统上开发了一套由电涡流位移传感器、控制器、变频电机、多头泵、闭式静压导轨构成的油膜厚度闭环控制系统,使油膜厚度稳定在设计值。