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单片集成MEMS环境压力传感器

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      本项目在单晶硅上同时集成MEMS压力传感器和具有24位数字变换电路,具有低成本、小体积、微功耗、高精度等特点,非常符合可穿戴产品的要求。本项目成果可用于测量气压和海拔高度(分辨率1米),可用于手机、平板电脑、可穿戴设备、监护仪器、洗衣机及其他多种产品,市场容量巨大。与iPhone6手机上应用的最高端Bosch公司BMP280压力传感器相比,本项目采用单片集成技术,而Bosch公司采用两片式堆叠组装技术,提高成品率。