超声扫描显微镜检测，是进行无损检测的先进设备，可以用于塑封集成电路、塑封器件的可靠性筛选试验、可靠性评价试验。利用材料内部组织因密度不同而对超声波声阻抗、超声波吸收与反射程度产生差异的特点，实现对电子元器件内部的夹杂物、裂纹、分层、空洞等进行检测，是提供高分辨率无损检测的重要手段。具有齐全的扫描探讨，包括25MHz、30MHz、35MHz、50MHz、75MHz、100MHz、110MHz、125MHz；具有门类齐全的扫描模式，包括A、B、C、X、P、G、Tray、Through等。具备各种封装类型塑封类器件的分层及裂纹缺陷检测能力。