本项目是国家863计划”85” 和”95”重大项目的阶段性研究成果(合作单位：河北省科学院)。 包含”大面积高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜高速沉积设备”和”大面积高质量金刚石自支撑膜制备工艺”两部分。其目标是向国内外市场提供大面积高质量廉价金刚石自支撑膜，降低生产和使用成本，提高产品市场竞争力。 通过几年连续攻关研究，该项技术目前已经基本成熟，设备和工艺已在广东、北京和天津的一些工厂和研究院所应用。 目前该项目已开发两种不同功率级别，100千瓦级和30千瓦级的设备。其中， 工具级金刚石膜沉积速率：40～50mm/h，沉积面积：110mm (100千瓦级)或60mm (30千瓦级)。利用本项目技术生产的工具级金刚石膜可达到的指标：面积可以达到110mm (100千瓦级) 或60mm (30千瓦级)；厚度最大能够做到2mm厚；维氏硬度：8000～11000 kg/mm2； 抗弯强度：不小于300 MPa。 光学级金刚石自支撑膜，目前其最大沉积面积为60mm， 厚度约为0.6mm，从紫外区(0.22m)到远红外区(> 20m直至微波)透明， 8～12m波段透过率～70%，热导率～19W/cm.k；各项物理化学性能均与天然Ⅱa型宝石级金刚石单晶接近，性能优异，完全可以替代天然金刚石使用。