成果详情
GaN HEMT外延材料

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【技术开发单位】中国电子科技集团公司第五十五研究所


【技术简介】GaN  HEMT材料具有低的导通电阻、高的工作频率,能满足下一代功率器件更大功率、更高频率、更小体积和更恶劣高温工作的要求。相对于同为宽禁带半导体的SiC大功率器件,GaN高功率器件不仅具有耐高压以及高电流的特性,更具有开关速度快,在同样的耐压条件下,导通电阻远低于SiC功率器件等优势,具有更快的速度,更小的损耗以及更高的效率。

GaN基产品具有高射频功率密度和效率、低电容和高热能传导性等特点,这些特点使精密高效的高功率放大器得到发展及广泛应用,这些应用包括移动无线通信(PMR)、3G/4G无线基础设施、ISM(工业、科学和医疗)、民用雷达以及CATV传输网络。


【主要技术指标】

4英寸GaN  HEMT外延材料:

(1)方块电阻不均匀性<2%

(2)室温二维电子气迁移率>50000px2/V.s

(3)GaN缓冲层(002)面XRD衍射峰半高宽<240弧秒、

(4)表面粗糙度<0.5nm


【技术特点】金属基泄气保用车辆是一项具有自主知识产权新型发明产品。在实现零压续跑的和轻量化的同时,可彻底改善轮胎散热条件,延长轮胎使用寿命,提高轮式车辆的安全性、舒适性和泄气使用等综合性能。


【技术水平】国际先进


【适用范围】雷达、无线通信、能源转换车等行业领域。


【专利状态】已取得专利17项


【技术状态】小批量生产、工程应用阶段


【合作方式】合作开发


【投入需求】5000万元


【转化周期】3年


【预期效益】GaN  HEMT外延材料是新型微波功率器件、电力电子器件研制的基础,在电力传输、能源转换、无线通信、新能源汽车等行业领域有着广阔的应用前景。目前中国电子科技集团公司第五十五研究所年产4英寸GaN  HEMT外延片2000片以上,产值达到6000万元每年,如果加大投入并吸收海内外高水平技术、营销团队,该项目年产值将达到3亿元以上。