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MEMS压力传感器

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【技术开发单位】慧石(上海)测控科技有限公司


【技术简介】专门针对航空发动机、燃气轮机应用研制,技术特点是极端恶劣环境下满足高温、高精度、高可靠性要求:

高性能耐高温芯片设计,最高耐温到275℃

温度补偿技术,实现补偿温度范围内(25~80℃区间)灵敏度温漂低于1%/100℃

高温封装技术,可以长期工作于275℃的高温环境

寿命长,可达24000小时

可靠性高,MTBF达20万小时以上

重量轻,单个芯片封装管芯仅为0.3克


【主要技术指标】

量程:100Kpa~60Mpa

输入阻抗2K~4K欧,输出阻抗1K~2.5K欧

在25±3℃时,满量程输出100±1mV,零位失调±1mV,允许的公差带为±%0.1  FS

重复性< 0.1%fs,线性< 0.1%fs< span="">

55℃~275℃的温漂< 2%  FS/100℃,25℃~80℃的温漂< 1%  FS/100℃

固有频率> 2500Hz。     

长期稳定性:< 0.2mV/年。 

工作环境温度:-55~275℃。


【技术水平】国际先进


【适用范围】高铁、能源、船舶及海洋、工业过程控制及自动化


【专利状态】已取得专利4项


【技术状态】小批量生产、工程应用阶段


【合作方式】合作开发


【转化周期】2


【预期效益】5年内累积实现销售46000万元,利润9200万元,利税4600万元。