【技术简介】溅射薄膜压强传感器技术主要由溅射薄膜压强传感器敏感结构、金属纳米薄膜敏感芯体批量生产工艺及多功能智能信号处理技术构成，其核心是敏感器件结构设计及其离子束溅射成型工艺。离子束溅射是采用低能加速器轰击，动能转换搬迁原子薄膜淀积技术，将纳米薄膜应变电阻直接制作在和金属弹性体紧密结合的陶瓷绝缘膜上，实现了敏感元件与绝缘膜、金属弹性体和绝缘膜的原子结合。在此基础上结合离子束刻蚀工艺以及微机械加工工艺，制成了纳米薄膜压力传感器，使之具有高稳定性、温度范围宽的本质特性，是传统的硅半导体压强传感器所无法匹敌的。结合优秀的结构设计，溅射薄膜传感器就具备了体积小、可靠性高、环境适应性强等突出的优点，非常适合油田、工程机械、航空航天、军工等对传感器可靠性和长期稳定性要求高的应用领域。同时，为了适应智能化、网络化测试的技术发展需要，创造性的集成开发了具备物联网特征的服务功能。经成果鉴定，达到了国内领先的技术水平，与国外同类高端产品相比具有明显的成本优势，完全可以替代进口。

【主要技术指标】

(1）测量压力范围：0～60MPa；

(2）测量精度：优于0.05%；

(3）长期稳定性：优于0.01%FS/年；

(4）温度范围：-55℃～300℃；

(5）功耗不大于0.1W；

(6）过载能力：2倍满量程压力；

(7）工作寿命：≥15年；

(8）信号制式：模拟式（电压、电流）

数字式（多种数字接口、网络接口）。

【适用范围】在石油化工、工程机械、汽车、航空航天、市政、军工等领域内都有着广阔的应用前景。随着产品系列化的延伸和智能化、网络化提升后，该产品将融合定位、网络接入、多传感器联合判断、数据暂存、自我管理等特性，支撑以智能、泛在为标志的各种类型的工业物联网应用。

【专利状态】申报专利３项。

【技术状态】批量生产、成熟应用阶段

【合作方式】合作开发

【预期效益】预计全国市场（航空、航天等国防领域，油田、汽车、冶金等民用领域）对本产品的年需求量为50万台以上。薄膜传感器售价约为0.2万元/套，陕西电器研究所按年销售量15000套计算，可实现年产值0.3亿元。