对晶硅片切割砂浆回收行业产生的大量工业废水进行资源化循环利用处理，去除掉有可能对水体造成污染的物质，对处理达标的工业废水进行深度处理，将处理中水回用于晶硅片切割废砂浆的生产，实现中水回用。该工艺技术采用将中水石英砂过滤+臭氧杀菌+石英砂二次过滤+活性炭吸附过滤+超滤+反渗透技术，并通过投加净水剂，对中水进行处理，改善中水水质，使其达到生产车间水质使用要求，回用至生产过程。处理后中水水质达到COD≤30mg/L、SS值≤5mg/L、pH值为6～9、电导率≤50us/cm，满足废砂浆生产用水水质要求。